對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規模約為98億元左右。值得關注的是,從產業鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。
自80年代1開始,我國的氣體工業迅速發展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業用氣體等相繼問世,其品種數目已與國外發達國家水平相近。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無 水,管路、閥門和容器不用時應密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離
特種氣體的重要性:在半導體工藝中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環保和高裝備制造等領域。特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著工業、科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發展,特種氣體成為工業氣體市場規模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業。
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